上海微体系所 :海内尾片300mmSOI晶圆制备完成


来源: 作者:admin 2025-04-25 01:42:51

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IT之家10月20日动静,据中国科教院上海微体系所动静,上海微体系所魏星研讨员团队远日颁布收表,正在300mmSOI晶圆制制足艺圆里已获得冲破性停顿  ,制备出了海内第一片300mm射频RF)SOI晶圆 。

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